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デジタル静電モニター/MB16SD-0200
除電性能とイオンバランスを静電モニターが診断します。
本器は、除電工程で除電器性能とその除電器から発生するイオンのバランス（除電バランス）を検知します。
除電器は定期的に除電電極性能をチェックし、電極針の汚れなどによる除電性能の低下や除電バランスを検知することで効率的に確実な除電を行うことができます。特に半導体で使用される除電器の場合はバランスのとれていない状態では逆帯電となり、デバイスを逆に帯電し、破壊することになります。
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